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AEROTRAK 7955型高压空气扩散器

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产品详情

TSI AeroTrak粒子计数器可通过AeroTrak ® 7955型高压气体扩散器 (HPD) 附件测量高压压缩气体系统中颗粒物污染。由于粒子计数器无法对高压气体采样,因此需要HPD附件降低压缩气体的压力,从而实现压缩气体系统洁净度水平的评估。

特点与优势 

  • 可将高达 120 psi (8.27 bar) 的气压降压至近大气压
  • 符合ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 标准限制条件的监测和测试
  • 兼容1.0 cfm AeroTrak 粒子计数器(包括远程式和便携式)
  • 排气过滤器可在高压气源断开时保护扩散器免受污染
  • 包括用于低湿度压缩气体系统的排气注射
  • 无需手动调整或校准
  • 可使用洁净干燥空气 (CDA)、氮气 (N 2 ) 和氩气 (Ar)
  • 钝化不锈钢外壳可防止洁净室化学品腐蚀
  • 额定流量1.0 cfm (28.3 lpm)

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