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TSI洁净室颗粒计数器可提高产量并减少浪费

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TSI洁净室颗粒计数器可提高产量并减少浪费

电子制造过程中很重要的一环是通过消除污染源提高产量和降低浪费。通过使用实时悬浮粒子计数器来检测洁净室污染源的粒子能够实现这一目的。即时改进措施对于提高产量和降低洁净室运行成本是至关重要的。

TSI AeroTrak®远程粒子计数器非常适合对您设施中的悬浮粒子污染进行实时检测。TSI能够为您提供经过长期验证的适用于从分级到连续监测等各项任务的工具

实时浮游菌粒子计数器为您节约时间和成本

  • 选择适合您过程的仪器。TSI AeroTrak远程粒子计数器适用于各种粒径灵敏度。仪器高度可靠、经济实用,能够测量低至0.2 μm、0.3 μm 和0.5 μm粒径的仪器。选择一款适合您流程的粒子计数器是非常重要的。

  • TSI AeroTrak6310型6510型真空泵远程粒子计数器易于安装,且无需拆卸外部真空源。

  • 可靠地进行分级。TSI AeroTrak便携式粒子计数器9510型9310型易于使用,且能够快速准确地完成分级。

洁净室粒子监测从未如此简单

  • 电子洁净室分级。TSI AeroTrak便携式粒子计数仪能够简化和加速电子洁净室分级流程。TSI粒子计数仪器易于设置和使用,且具有内置ISO 14644-1报告功能。

  • 电子洁净室周期性监测。TSI AeroTrak便携式粒子计数器可以作为单机仪器监测也可以集成到设备监测系统对电子制造环境进行周期性监测。

  • 电子洁净室的连续监测。TSI FMS软件(具有OPC UA 客户端/服务端功能),能够无缝集成到多种仪器中,包括TSI AeroTrak便携式粒子计数器、TSI AeroTrak远程粒子计数器环境传感器。TSI仪器能够和业内最佳的TSI FMS软件集成,具有OPC UA客户端/传感器、分布式数据库和热备援功能,为您提供无以伦比的灵活性和可靠性,能够和不同的信息技术系统和软件应用进行通讯、交换数据,并应用数据连续监测电子制造洁净室。

快速帮您确定所需洁净室粒子计数器的类型

类型 流速 粒径范围 带集成泵
洁净室远程式粒子计数器
6310 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 μm X
6510* 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.5 to 25.0 μm X
7301 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 µm  
7301-P 0.1 CFM (2.83 LPM) 0.3 to 50.0 µm X
7310 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 µm  
7501 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.5 to 25.0 μm  
7510* 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.5 to 25.0 μm  
洁净室便携式粒子计数器
9310 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 9310-02, 9310: 0.3 to 25.0 µm  
9510 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 9510-02, 9510: 0.5 to 25.0 µm  
洁净室手持式粒子计数器
9303 0.1 CFM (2.83 LPM) 0.3 to 25.0 µm  
9306 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 µm  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*VHP-resistant 型号可提供

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