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半导体制造

亚微米污染控制

半导体制造

亚微米污染控制

半导体节点的尺寸继续已经缩小到几个纳米的程度。对亚微米级悬浮粒子污染的监测是保证产品高产量的关键。您需要能够为您提供最佳测量性能和数据质量的仪器来帮助控制您的生产过程。

TSI是业内公认的高灵敏度粒子计数技术的领导者。我们仪器被用于全球国家级标准实验室。通过使用TSI业内领先的粒子计数器来监测亚微米和纳米粒子改进您的制造工艺。

可靠的高灵敏度粒子计数仪器

洁净室粒子监测从未如此简单

  • 半导体洁净室分级。所有的TSI AeroTrak便携式粒子计数器均能为您简化和加速洁净室分级过程。使用内置的ISO 14644-1报告,TSI粒子计数仪器具有设置简单和易于使用的特性。

  • 在半导体空间进行周期性粒子监测。所有的TSI AeroTrak便携式粒子计数器均可作为单机使用或集成到设施监测系统中方便的进行半导体环境中周期性悬浮粒子监测,实现实时污染物监测。

  • 半导体工具和流程的连续监测。TSI FMS软件(具有OPC UA 客户端/服务端功能),能够无缝集成到多种仪器中,包括TSI AeroTrak便携式粒子计数器、TSI AeroTrak远程粒子计数器环境传感器。TSI仪器能够和业内最佳的TSI FMS软件集成,具有OPC UA客户端/传感器、分布式数据库和热备援功能,为您提供无以伦比的灵活性和可靠性,能够和不同的信息技术系统和软件应用进行通讯、交换数据,并且应用半导体加工洁净室的连续监测信息。

快速确定您需要的洁净室粒子计数器类型

型号 流速 粒径范围 配集成泵
洁净室粒子计数器
9001 0.1 CFM (2.83 LPM) Min. Detectable Particle (D50) - 10 nm
Max. Detectable Particle - >3 µm
 
洁净室远程粒子计数器
6310 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 μm X
7110 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.100 to 10.0 µm  
7201 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.2 to 10.0 µm  
7301 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 µm  
7310 1 CFM (28.3 LPM) ±5% accuracy 0.3 to 25.0 µm  
洁净室手持粒子计数器
9110 0.1 CFM (2.83 LPM) ±5% accuracy 0.100 to 10.0 µm  

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