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HALBLEITERFERTIGUNG

Submikrometer Kontaminationskontrolle, die funktioniert.

Halbleiterfertigung

Submikrometer Kontaminationskontrolle, die funktioniert

Halbleiter-Strukturen werden immer kleiner, bis hin zu einstelligen Nanometerdimensionen. Die Überwachung der Verunreinigung durch luftgetragene Partikel im Submikrometerbereich ist für eine hohe Produktausbeute unerlässlich. Sie benötigen Instrumente, die die besten Messwerte und Daten liefern, um Ihre Prozesse unter Kontrolle zu halten.

TSI ist ein anerkannter Marktführer in der hoch Empfindlichkeits Partikelzählung. Unsere Geräte werden weltweit in nationalen Normungslabors eingesetzt. Verbessern Sie Ihren Herstellungsprozess durch die Überwachung von Submikrometer- und Nanopartikeln mit den branchenführenden Partikelzählern von TSI.

ZUVERLÄSSIGE, HOCHEMPFINDLICHE
PARTIKELZÄHLGERÄTE, DIE FUNKTIONIEREN

  • 0,1 µm Messung, der Sie vertrauen können.
    Der AeroTrak 7110 Remote Partikelzähler und der tragbare Partikelzähler AeroTrak 9110 wurden entwickelt, um die aktuellen strengen Anforderungen für Halbleiter-Reinraumanwendungen zu erfüllen. 4 Jahre Lasergarantie inklusive.
                          
  • 10 nm Messung wie kein anderer.
    Der wasserbasierte AeroTrak 9001 Reinraum-Kondensationpartikelzähler bietet extrem niedrige Falschzählraten zur sicheren Überwachung von Mini-Umgebungen und Prozessgasen - damit Ihre Produkte vor Verunreinigungen durch Nanopartikel geschützt sind. Schauen Sie sich hier unsere Produktdemo an.

REINRAUM-PARTIKELÜBERWACHUNG WAR NOCH NIE SO EINFACH

  • Halbleiter-Reinraumklassifizierung. Alle tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler wurden entwickelt, um den Prozess der Reinraumklassifizierung zu vereinfachen und zu beschleunigen. Mit dem integrierten EU GMP Annex 1 und ISO 14644-1 Reporting sind TSI Partikelzählgeräte einfach einzurichten und zu bedienen.
     
  • Perodische Partikelüberwachung im Halbleiterraum. Alle tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler arbeiten als Einzelgeräte oder als Teil eines Anlagenüberwachungssystems zur einfachen periodischen Überwachung von Luftpartikeln in einer Halbleiterproduktionsumgebung zur Echtzeit-Detektion von Verunreinigungen.
     
  • Kontinuierliche Überwachung von Halbleiterproduktionswerkzeugen und -prozessen. TSI FMS Software (mit OPC UA Client/Server-Funktionalität) integriert nahtlos eine Reihe von Instrumenten, einschließlich der tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler, TSI AeroTrak Remote Partikelzähler und Umweltsensoren. In Kombination mit den erstklassigen Funktionen der TSI FMS Software, einschließlich OPC UA Client/Server, verteilten Datenbanken und Hot Standby, bietet TSI die beispiellose Flexibilität und Zuverlässigkeit für verschiedene IT-Systeme und Softwareanwendungen zur Kommunikation, zum Datenaustausch und zur Nutzung der ausgetauschten Informationen zur kontinuierlichen Überwachung von Reinräumen in der Halbleiterfertigung.

Schnell erkennen, welchen Reinraum-Partikelzähler Sie benötigen

Modell Durchflussrate Partikelgrößen Mit integrierter Pumpe
Reinraum-Kondensationspartikelzähler
9001 2.83 LPM (0.1 CFM) Min. Nachweisbare Partikel (D50) -
10 nm
Max. Erkennbarer Partikel - >3 µm
 
Remote Partikelzähler für Reinräume
6310 28,3 LPM (1,0 CFM) ±5% Genauigkeit 0,3 bis 25,0 μm X
7110 28,3 LPM (1,0 CFM) 0,100 bis 10,0 µm  
7201 2,83 LPM (0,1 CFM) ±5% Genauigkeit 0,2 bis 10,0 µm  
7301 2,83 LPM (0,1 CFM) ±5% Genauigkeit 0,3 bis 25,0 µm  
7310 28,3 LPM (1,0 CFM) ±5% Genauigkeit 0,3 bis 25,0 µm  
Tragbare Partikelzähler für Reinräume
9110 28,3 LPM (1 CFM) ±5% Genauigkeit 0,100 bis 10,0 µm  

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