Halbleiterfertigung

Minimieren Sie das Risiko, eine Prüfung nicht zu bestehen 
Kontaminationskontrolle zur Überwachung ultra-reiner Halbleiterumgebungen
 

Halbleitermaße schrumpfen immer weiter in den einstelligen Nanometerbereich. Die Überwachung der luftübertragenen Partikelkontamination ist entscheidend, um sicherzustellen, dass Ihr Produkt nicht gefährdet ist und Sie bei einem Reinraum-Audit nicht durchfallen. Die hochempfindlichen Luftpartikelzähler von TSI bieten die hochwertigsten Submikron- und Nanopartikelmessungen auf dem Markt. Die 0,1 μm Luftpartikelzähler und10 nm-Reinraum-Kondensationspartikelzähler (CPC) von TSI bieten eine komplette Überwachungslösung, die die kritischen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllt.

TSI ist ein anerkannter Marktführer im Bereich der hochsensiblen Partikelzählung. TSI-Geräte werden weltweit in nationalen Normungslaboratorien eingesetzt, die höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit verlangen. Gehen Sie keine Kompromisse bei Ihrem Herstellungsprozess ein - vertrauen Sie auf TSI, um alles zu entdecken.

Zuverlässige, hochempfindliche Partikelzählgeräte, die zuverlässig arbeiten

• 0,1 µm Partikelmessung, der Sie vertrauen können. Der 1 CFM fernbedienbare Partikelzähler AeroTrak® 7110 und der tragbare Partikelzähler AeroTrak 9110 sind für ihre Genauigkeit und Zuverlässigkeit bekannt. Beide Modelle verfügen über die branchenweit beste 4-Jahres-Lasergarantie.
                        
• 10 nm Partikelmessung wie sonst keiner.
  0,1 μm Partikelzählgeräten lässt sich die Kontamination mit Nanopartikeln nicht erkennen - Sie brauchen einen CPC (Kondensationspartikelzähler). Mit unserer jahrzehntelangen Erfahrung in der CPC-Technologie wurde der wasserbasierte AeroTrak 9001 Reinraum-Kondensationpartikelzähler (CPC) speziell für die ultrasaubere Halbleiterfertigung entwickelt. Er bietet unglaublich niedrige Fehlzählungen, Nanopartikel-Erkennung in Echtzeit, 6-monatigen Dauerbetrieb und 0,1 cfm Durchflussraten zur Erkennung von Partikeln in der Luft oder inerten Druckgasen. Siehe Video-Demo hier.

TSI: Wir erkennen Partikel aller Größen

0,2 µm, 0,3 µm und 0,5 µm Partikelmessungen, denen Sie vertrauen können. Die AeroTrak+ Remote-Partikelzähler und die AeroTrak+ Remote-Partikelzähler mit Pumpe beinhalten die branchenweit beste 5-Jahres-Lasergarantie. Einfache Installation und keine Vakuumpumpen erforderlich, wenn Sie AeroTrak+ Remote-Partikelzähler mit Pumpe verwenden. Die Power-over-Ethernet- oder Funkverbindung reduziert den Verkabelungs- und Installationsaufwand.

REINRAUM-PARTIKELÜBERWACHUNG WAR NOCH NIE SO EINFACH

• Kontinuierliche Überwachung von Halbleiterwerkzeugen und Mini-Umgebungen. Die TSI FMS Software (mit OPC UA Client/Server-Funktionalität) integriert nahtlos eine Reihe von Instrumenten, einschließlich der tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler, TSI AeroTrak+ Remote Partikelzähler und Umweltsensoren. In Kombination mit den klassenbesten Funktionen der TSI FMS-Software, einschließlich OPC UA Client/Server, verteilten Datenbanken und Hot-Standby, bietet TSI eine unvergleichliche Flexibilität und Zuverlässigkeit für verschiedene Informationstechnologiesysteme und Softwareanwendungen. Diese Systeme machen es einfach, zu kommunizieren, Daten auszutauschen und die Informationen zu nutzen, um Reinräume in der Halbleiterfertigung kontinuierlich auf Partikelereignisse zu überwacheng.
• Regelmäßige Partikelüberwachung in einer Halbleiter-Umgebung. Alle tragbaren TSI AeroTrak-Partikelzähler arbeiten als eigenständige Geräte oder als Teil eines Anlagenüberwachungssystems. Es ist einfach, eine einfache periodische Partikelüberwachung der Luft durchzuführen und Risiken in Ihrer Halbleiter-Umgebung schnell zu identifizieren.
• Halbleiter-Reinraum-Klassifizierung. Alle tragbaren TSI AeroTrak-Partikelzähler wurden entwickelt, um den Prozess der Reinraumklassifizierung zu vereinfachen und zu beschleunigen. Mit integrierter ISO 14644-1-Berichterstattung bieten die TSI-Partikelzählgeräte eine automatisierte Schnittstelle zur einfachen Durchführung des Klassifizierungsprozesses.