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AeroTrak Hochdruckdiffusor 7955

Artikelnr: 7955

Zur Verwendung in der Halbleiterfertigung mit einem tragbaren Partikelzähler AeroTrak® 9110, um die Messung von Partikelverunreinigungen in Hochdruck-Druckgassystemen zu ermöglichen.

Produktdetails

Hochdruck-Diffusor, 2-stufig, 1,0 cfm

Leistungsmerkmale & Vorteile

  • Reduziert den Gasdruck von bis zu 8,27 bar (120 psi) auf Atmosphärendruck
  • Für Überwachung und Tests gemäß ISO 8573-3 und SEMI E49.8
  • Kompatibel mit AeroTrak Partikelzählern 2,83 l/min (sowohl ferngesteuerte als auch tragbare Modelle)
  • HEPA-Abluftfilter schützt den Diffusor vor Kontamination beim Trennen von der Druckgasquelle
  • Speziell für die Verwendung mit trockenen comprimierten Gasen
  • Keine manuelle Einstellung oder Kalibrierung erforderlich
  • Zur Verwendung mit sauberer Trockenluft, Stickstoff (N 2 ) und Argon (Ar)
  • Passiviertes Edelstahlgehäuse ist beständig gegenüber Reinraumchemikalien
  • 2,83 l/min (o,1 cfm) Nennvolumenstrom