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Fabrication de semi-conducteurs

Contrôle efficace de la contamination submicrométrique

Fabrication de semi-conducteurs

Contrôle efficace de la contamination submicrométrique

La structure des semi-conducteurs devient de plus en plus petites, jusqu'à des dimensions de l'ordre du nanomètre à un chiffre. La surveillance de la contamination par des particules aérosols submicrométrique est essentielle pour assurer un rendement élevé. Vous avez besoin d'instruments qui fournissent les meilleures mesures et données pour garder vos processus sous contrôle.

TSI est un leader reconnu dans le comptage de particules à haute sensibilité. Nos instruments sont utilisés dans les laboratoires d'étalonnage nationaux  du monde entier. Améliorez votre processus de fabrication en surveillant les nanoparticules et les particules submicromètriques avec les compteurs de particules de TSI, reconnus comme les meilleurs par l’industrie.

Des comteurs de particules fiables, très sensibles and performants

La surveillance des particules dans les salles blanches n'a jamais été aussi facile

  • Classification des salles blanches pour l’industrie des semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI sont conçus pour simplifier et accélérer le processus de classification des salles blanches. Avec l'annexe 1 des BPF de l'UE et le rapport ISO 14644-1 intégré, les instruments de comptage de particules TSI sont simples à installer et faciles à utiliser.
     
  • Surveillance périodique des particules dans l'industrie des semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI fonctionnent en tant qu'instruments autonomes ou en conjonction avec un système de monitoring permettant la détection en temps réel des contaminants.

  • Surveillance continue des outils et processus de fabrication de semi-conducteurs. Le logiciel TSI FMS (avec fonctionnalité Client/Serveur OPC UA) intègre de façon transparente une gamme d'instruments, y compris les compteurs de particules portables TSI AeroTrak, les compteurs de particules à distance TSI AeroTrak et les capteurs environnementaux. Avec ses fonctionnalités hors pair, telles que OPC UA Client/Serveur, bases de données enregistrée de manière décentralisée et hot stand-by, TSI FMS offre une flexibilité et une fiabilité inégalées pour divers systèmes informatiques et applications logicielles facilitant la communication et l’échange des données. Ces données peuvent ensuite être utilisées pour surveiller en continu un espace de fabrication de semi-conducteurs.

Identifiez facilement le compteur de particules pour salle blanche dont vous avez besoin

Modèles Débit d'ecoulement Plage de mesures Avec Pompe intégrée
Le compteur de particules à condensation pour salle propre 
9001 2.83 LPM (0.1 CFM) Particules min. détectables (D50) -
10 nm
Max. Particule détectable - >3 µm
 
Les compteurs de particules distants
6310 28,3 LPM (1,0 CFM) ±5% précision 0,3 à 25,0 μm X
7110 28,3 LPM (1,0 CFM) 0,100 à 10,0 µm  
7201 2,83 LPM (0,1 CFM) ±5% précision 0,2 à 10,0 µm  
7301 2,83 LPM (0,1 CFM) ±5% précision 0,3 à 25,0 µm  
7310 28,3 LPM (1,0 CFM) ±5% précision 0,3 à 25,0 µm  
Les compteurs de particules portables
9110 28,3 LPM (1 CFM) ±5% précision 0,100 à 10,0 µm  

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