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Fabrication de semi-conducteurs

Contrôle de la contamination dans les environnements ultra-propres

AeroTrak PlusLa structure des semi-conducteurs devient de plus en plus petites, jusqu'à des dimensions de l'ordre du nanomètre à un chiffre. La surveillance de la contamination par des particules aérosols submicrométrique est essentielle pour assurer un rendement élevé. Les compteurs de particules haute sensibilité de TSI permettent les mesures de particules sub-microniques et nanométriques de la plus haute qualité. Les compteurs de particules 0.1 μm et le compteur de particules à condensation (CPC) de 10 nm sont conçus pour répondre aux besoins critiques de l'industrie des semi-conducteurs.

TSI est un leader reconnu dans le comptage de particules à haute sensibilité. Nos instruments sont utilisés dans les laboratoires d'étalonnage nationaux  du monde entier. Ne mettez pas votre environnement de fabrication à risque avec une contamination sub-micronique - faites confiance à TSI pour tout détecter.

Des comteurs de particules fiables, très sensibles and performants

TSI : Nous détectons les particules de toutes tailles

Des mesures de 0,2 µm, 0,3 µm et 0,5 µm sur lesquelles vous pouvez comptez. Les compteurs de particules distants AeroTrak+ et les compteurs de particules distants AeroTrak+ avec pompe sont couverts par une garantie laser inégalée de 5 ans. Les compteurs de particules distants AeroTrak+ avec pompe sont faciles à installer et aucune pompe de vide n’est nécessaire. En outre, une alimentation par Ethernet et la connectivité sans fil réduisent le câblage et les frais d'installation.

La surveillance des particules dans les salles blanches n'a jamais été aussi facile

  • Surveillance continue des outils et processus de fabrication de semi-conducteurs. Le logiciel TSI FMS (avec fonctionnalité Client/Serveur OPC UA) intègre de façon transparente une gamme d'instruments, y compris les compteurs de particules portables TSI AeroTrak, les compteurs de particules à distance TSI AeroTrak et les capteurs environnementaux. Avec ses fonctionnalités hors pair, telles que OPC UA Client/Serveur, bases de données enregistrée de manière décentralisée et hot stand-by, TSI FMS offre une flexibilité et une fiabilité inégalées pour divers systèmes informatiques et applications logicielles facilitant la communication et l’échange des données. Ces données peuvent ensuite être utilisées pour surveiller en continu un espace de fabrication de semi-conducteurs.
  • Surveillance périodique des particules dans l'industrie des semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI fonctionnent en tant qu'instruments autonomes ou en conjonction avec un système de monitoring permettant la détection en temps réel des contaminants.

  • Classification des salles blanches pour l’industrie des semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI sont conçus pour simplifier et accélérer le processus de classification des salles blanches. Avec l'annexe 1 des BPF de l'UE et le rapport ISO 14644-1 intégré, les instruments de comptage de particules TSI sont simples à installer et faciles à utiliser.

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